Физика Кремния

Методами атомно-силовой микроскопии и лазерной эллипсометрии обна­ружены различия в изменениях микроморфологии поверхности слоев крем­ния структур „кремний на сапфире" (КНС), показателей преломления и коэффициентов экстинкции кремния и сапфира после облучения композиций рентгеновским излучением с энергий E < 300 keV со стороны эпитаксиальной пленки и подложки.
 

Изучалось влияние Y-облучения на температурные зависимости внутреннего трения в дискообразных подложках кремния в килогерцевом диапазоне частот. После облучения дозами 104 и 105 R обнаружены два доминирующих максимума внутреннего трения при ~ 330 и ~ 450K с энергией активации H1 = 0.6eV и H2 = 0.9eV соответственно, обусловленные, по-видимому, переориентацией междоузельных атомов кремния в гантельных конфигурациях.